[实用新型]一种缓存装置及设有该缓存装置的涂胶显影机有效
| 申请号： | 201620433712.7 | 申请日： | 2016-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN205608389U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 汪直超;宋翔宇;关永兵;刘丙强;曹坤 | 申请（专利权）人： | 重庆京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 汤财宝 |
| 地址： | 400714 重庆市北碚区*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及集成电路生产设备技术领域，尤其涉及一种缓存装置及设有该缓存装置的涂胶显影机。缓存装置包括框架和设于所述框架内沿其高度方向依次设置的多层支撑板，所述支撑板用于放置待曝光的基板，所述框架上相应地设有多层支撑部件，每层所述支撑板均滑动地安装于所述支撑部件上。本实用新型提供的缓存装置缩短了维护保养的时间，提高了工作效率以及设备的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缓存 装置 设有 涂胶 显影 | ||
【主权项】：
一种缓存装置，包括框架和设于所述框架内沿其高度方向依次设置的多层支撑板，所述支撑板用于放置待曝光的基板，其特征在于：所述框架上相应地设有多层支撑部件，每层所述支撑板均滑动地安装于所述支撑部件上。
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