[实用新型]一种高温扩散装置

摘要

本实用新型公开了一种高温扩散装置，包括炉体，炉体的一端为炉口，另一端为封闭结构，在炉口处设有炉盖，在炉体的内部设有石英舟，在石英舟上均匀放置有硅片，在炉体的上端设有第一工艺进气口、第二工艺进气口和第三工艺进气口，在炉体的下端设有尾气排放口，还包括气体稳流装置，气体稳流装置设置在炉口、炉中或炉尾位置，本实用新型结构简单，能够提高炉体内气体流动的稳定性，确保了硅片扩散的均匀性，从而确保硅片方块电阻的均匀性。

主权项

一种高温扩散装置, 包括炉体（1），其特征在于：所述炉体（1）的一端为炉口（2），另一端炉尾（3）为封闭结构，在所述炉口（2）处设有炉盖（4），在所述炉体（1）的内部设有石英舟（5），在所述石英舟（5）上均匀放置有硅片，在所述炉体（1）的上端设有第一工艺进气口（6）、第二工艺进气口（7）和第三工艺进气口（8），在所述炉体（1）的下端设有尾气排放口（9），还包括气体稳流装置（10），所述气体稳流装置（10）设置在炉口（2）、炉中（11）或炉尾（3）位置。