[实用新型]一种用于晶棒切割的支撑装置

摘要

本实用新型公开了一种用于晶棒切割的支撑装置，包括底座以及与底座连接的若干石墨条；底座通过调节组件与石墨条连接，调节组件包括与底座连接的第一调节杆以及嵌入在第一调节杆的第二调节杆，第一调节杆上还设有若干调节孔；每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的凹槽，凹槽内设有均匀分布的防滑纹。本实用新型通过将晶棒安装于石墨条的凹槽内，并将切断后的晶棒牢靠的连接在一起，在石墨条的支撑作用下避免了在切割过程中晶棒因自重产生的力矩而导致断裂和切断后晶棒自然坠落造成开裂的问题；同时石墨条成本低加工方便，更节约成本。

主权项

一种用于晶棒切割的支撑装置，其特征在于：包括底座（1）以及与底座（1）连接的若干石墨条（2）；所述底座（1）通过调节组件与石墨条（2）连接，所述调节组件包括与底座（1）连接的第一调节杆（8）以及嵌入在第一调节杆（8）内的第二调节杆（7），所述第一调节杆（8）上还设有若干调节孔（9）；每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的凹槽（3），所述凹槽（3）内设有均匀分布的防滑纹（5）。