[实用新型]一种Z-wave的温度传感器有效
| 申请号： | 201620384203.X | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN205580613U | 公开（公告）日： | 2016-09-14 |
| 发明（设计）人： | 黄庆雷;韦冬萍;巫柳燕;黄慧;聂紫懿;李卓;莫丹萍;王萌;梁伟鄯 | 申请（专利权）人： | 广西科技大学鹿山学院 |
| 主分类号： | G01K7/00 | 分类号： | G01K7/00 |
| 代理公司： | 广西南宁公平专利事务所有限责任公司 45104 | 代理人： | 翁建华 |
| 地址： | 545616 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种Z‑wave的温度传感器，衬底(1)中部设有凹槽(8)；在衬底(1)顶面涂覆一层聚二甲基硅氧烷层(9)，在聚二甲基硅氧烷层(9)上涂覆聚酰亚胺层(7)；所述凹槽(8)上悬跨悬梁臂(6)，悬梁臂(6)上有一层粘附层(3)；粘附层(3)上面有一层温敏电阻层(4)；温敏电阻层(4)上两端各有一层导电层(5)；在衬底(1)下面有一层下衬底膜层(2)。本实用新型的温度传感器体极小、温度测量范围宽、结构简单、重量轻、热容量小、响应速度快、测量精度高、线性度好、功耗低、可靠性高、一致性好、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 wave 温度传感器 | ||
【主权项】：
一种Z‑wave的温度传感器，其特征在于，衬底(1)中部设有凹槽(8)；在衬底(1)顶面涂覆一层聚二甲基硅氧烷层(9)，在聚二甲基硅氧烷层(9)上涂覆聚酰亚胺层(7)；所述凹槽(8)上悬跨悬梁臂(6)，悬梁臂(6)上有一层粘附层(3)；粘附层(3)上面有一层温敏电阻层(4)；温敏电阻层(4)上两端各有一层导电层(5)；在衬底(1)下面有一层下衬底膜层(2)。
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