[实用新型]石英晶片研磨在线测频系统

摘要

本实用新型公开了一种石英晶片研磨在线测频系统，包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块。本实用新型用基于DDS技术的π网络最大传输法检测原理增强了系统的抗干扰性，解决现有ALC系统“在某些频段发生测频值跳变”的问题。本实用新型所有频段采用统一的π网络接口电路，解决现有ALC系统不同频段需要更换探测头的缺陷，降低射频接头频繁插拔导致的电学故障风险，增强系统工作稳定性，能够显著提升晶片研磨质量和产品品质稳定性。硬件系统方案不仅能够覆盖目前晶片研磨生产所涉及的所有频段，而且只需要通过算法参数上修改就能兼容石英晶片的所有切型。

主权项

石英晶片研磨在线测频系统，其特征在于，包括电源模块、MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、π网络接口电路模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块；所述电源模块为所述MCU控制系统模块、DDS模块、射频功率放大模块、信号放大滤波模块、射频幅值检测模块和触摸屏模块提供直流电源；所述DDS模块的输入端连接到所述MCU控制系统模块，DDS模块的输出端连接到所述射频功率放大模块的输入端；所述射频功率放大模块的输出端连接到所述π网络接口电路模块的输入端，所述π网络接口电路模块的输出端连接到所述信号放大滤波模块的输入端；所述信号放大滤波模块的输出端连接到所述射频幅值检测模块的输入端；所述射频幅值检测模块的输出端连接到所述MCU控制系统模块；所述触摸屏模块与所述MCU控制系统模块双向电连接。