[实用新型]一种晶圆切割、减薄用保护膜有效
| 申请号： | 201620350009.X | 申请日： | 2016-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN205705626U | 公开（公告）日： | 2016-11-23 |
| 发明（设计）人： | 喻四海;施法宽;杨洋 | 申请（专利权）人： | 昆山博益鑫成高分子材料有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/32 | 分类号： | B32B27/32;B32B27/06;B32B7/10;B32B33/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 薛海霞;董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种晶圆切割、减薄用保护膜，依次包括抗粘层、芯层和胶层，抗粘层和芯层即流延聚丙烯(CPP)基材膜是通过流延机共挤流延制备得到，随后在基材膜上涂布UV减粘胶水即可得到成品保护膜。本实用新型，使得抗粘层得到一种粗糙的结构表面，从而保护膜在高剥离力的情况下也易于解卷，避免因为解卷力过大，导致薄膜剥开变形；选用CPP作为基材膜，耐温性和强度都要优越于PE基材膜，可以满足更高要求的工艺条件；流延工艺制备CPP基材膜的厚薄均匀度高，可以提高晶圆加工的精确度和良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 减薄用 保护膜 | ||
【主权项】：
一种晶圆切割、减薄用保护膜，其特征在于，依次由抗粘层、芯层和胶层构成；抗粘层和芯层构成基材膜，且该基材膜由流延聚丙烯构成。
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