[实用新型]一种用于防止硅芯氧化的加热装置有效
| 申请号： | 201620321763.0 | 申请日： | 2016-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN205482163U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 阮江海 | 申请（专利权）人： | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B23/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 832012 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅芯生产技术领域，具体涉及一种用于防止硅芯氧化的加热装置。本实用新型的主要技术方案为：一种用于防止硅芯氧化的加热装置，包括:工作箱，为具有开口的容器；所述工作箱的顶部具有排气孔，底部具有进气孔；所述工作箱为聚四氟乙烯材料；支架，设置在所述工作箱内，用于支撑硅芯；所述支架为聚四氟乙烯材料；加热腔，设置在所述工作箱的底部，通过所述进气孔与所述工作箱连通；加热组件，设置在所述加热腔中，用于供热；风机，所述风机的出风口与所述加热腔连通，使气流在所述加热腔加热后，再通过所述进气孔流入所述工作箱，用于给所述硅芯加热。采用本实用新型可以防止硅芯氧化，提升硅芯质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 防止 氧化 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种用于防止硅芯氧化的加热装置，其特征在于，包括:工作箱，为具有开口的容器；所述工作箱的顶部具有排气孔，底部具有进气孔；所述工作箱为聚四氟乙烯材料；支架，设置在所述工作箱内，用于支撑硅芯；所述支架为聚四氟乙烯材料；加热腔，设置在所述工作箱的底部，通过所述进气孔与所述工作箱连通；加热组件，设置在所述加热腔中，用于供热；风机，所述风机的出风口与所述加热腔连通，使气流在所述加热腔加热后，再通过所述进气孔流入所述工作箱，用于给所述硅芯加热。
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