[实用新型]石英坩埚自动清洗线装置有效

专利信息
申请号: 201620320108.3 申请日: 2016-04-14
公开(公告)号: CN205496227U 公开(公告)日: 2016-08-24
发明(设计)人: 王震;孙兴旺 申请(专利权)人: 锦州佑鑫电子材料有限公司
主分类号: B08B9/30 分类号: B08B9/30;B08B13/00;F26B15/18
代理公司: 锦州辽西专利事务所 21225 代理人: 赵月娜
地址: 121000 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型涉及一种石英坩埚自动清洗线装置,包括喷淋室和烘干室,其特征在于:喷淋室和烘干室之间增设风淋室,喷淋室、风淋室、烘干室三者依次相接、相通,支撑框架对应喷淋室、风淋室、烘干室底部位置设有滚轴传送带,喷淋室内侧壁、顶部及底部均设有进水管路,各个进水管路上分别设有朝向喷淋室内侧的自转喷头,各个进水管路的进水口与柱塞泵出口相连,风淋室内侧壁、顶部及底部均设有风管,各个风管上分别设有朝向风淋室内侧的出风口,各个风管的进风口与室外排风管路相连,烘干室内侧壁和顶部均设有石英加热管。其将清洗及烘干功能融为一体,显著提高生产效率,降低生产成本,减轻工人劳动强度,且避免坩埚搬运过程中造成污染。
搜索关键词: 石英 坩埚 自动 清洗 线装
【主权项】:
一种石英坩埚自动清洗线装置,包括喷淋室和烘干室,其特征在于:所述喷淋室和烘干室之间增设风淋室,所述喷淋室、风淋室、烘干室共同安装于同一支撑框架上且三者依次相接、相通,所述支撑框架对应喷淋室、风淋室、烘干室室内底部位置设有依次穿过喷淋室、风淋室、烘干室的滚轴传送带,所述喷淋室内侧壁、顶部及底部均设有进水管路,各个所述进水管路上分别设有朝向喷淋室内侧的自转喷头,各个所述进水管路的进水口与柱塞泵出口相连,所述风淋室内侧壁、顶部及底部均设有风管,各个所述风管上分别设有朝向风淋室内侧的出风口,各个所述风管的进风口与室外排风管路相连,所述烘干室内侧壁和顶部均设有石英加热管,所述滚轴传送带的各个滚轴的与坩埚接触部位均套装有瓷管。
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