[实用新型]一种耙状悬臂梁结构的微探针有效
| 申请号： | 201620304865.1 | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN205643422U | 公开（公告）日： | 2016-10-12 |
| 发明（设计）人： | 朱干军 | 申请（专利权）人： | 朱干军 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;B81B3/00 |
| 代理公司： | 合肥市上嘉专利代理事务所(普通合伙) 34125 | 代理人： | 郭华俊 |
| 地址： | 230041 安徽省合肥市庐阳*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种耙状悬臂梁结构的微探针，该微探针包括一组悬臂梁和在微探针制程中在一组悬臂梁的末端保留或增设的连接结构，该连接结构用于对所述悬臂梁末端的侧向运动进行约束。采用本实用新型结构的微探针，通过连接结构来限制各悬臂梁的侧向抖动/振动，有效地实现对悬臂梁的抖动/振动控制，克服了测量结果不稳定性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 结构 探针 | ||
【主权项】：
一种耙状悬臂梁结构的微探针，包括一组悬臂梁，其特征在于，还包括在微探针制程中在所述一组悬臂梁的末端保留或增设的连接结构，用于对所述悬臂梁末端的侧向运动进行约束。
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