[实用新型]UV LED光源结构及平行光曝光机有效
| 申请号： | 201620303103.X | 申请日： | 2016-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN205539935U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 江海波;孙秀辉;蔡文涛;杨正;尹韶云;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 尹丽云 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种UV LED光源结构及平行光曝光机，包括UV LED光源模块、复眼透镜匀化系统与主反射镜，沿UV LED光源模块的光路方向，复眼透镜匀化系统与主反射镜依序布置，UV LED光源模块用于射出紫外光线，UV LED光源模块与复眼透镜匀化系统相邻平行设置，主反射镜将平行紫外光线反射至掩膜版。光源模块采用UV LED灯珠阵列作为照明光源，在UV LED灯珠阵列上使用自由曲面准直透镜产生平行光束，且每个所述自由曲面准直透镜一一对应覆盖于所述UV LED灯珠阵列中的单个灯珠上，解决了UVLED光源发散角大的问题；通过复眼透镜匀化系统及主反射镜，提高了平行光线的均匀度和平行度。基于UV LED光源结构的平行光曝光机，具有结构简单、能耗少、成本低和寿命长等优点。 | ||
| 搜索关键词： | uv led 光源 结构 平行 曝光 | ||
【主权项】：
一种UV LED光源结构，其特征在于，包括UV LED光源模块、复眼透镜匀化系统与主反射镜，沿所述UV LED光源模块的光路方向，所述复眼透镜匀化系统与所述主反射镜依序布置，所述UV LED光源模块用于射出紫外光线，所述UV LED光源模块与所述复眼透镜匀化系统相邻平行设置，所述主反射镜将平行紫外光线反射至掩膜版。
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