[实用新型]一种用于微齿距检测的隧道结磁电阻齿轮传感器芯片

摘要

本实用新型公开了一种用于微齿距检测的磁电阻齿轮传感器芯片。该新型设计将响应区域置于芯片一侧边沿部位，大大缩减齿轮至响应区域之间的探测间距，从而提高输出信号强度，有利于微齿距检测；同时，该新型将多条响应通道包含于单个响应区域，利用单一设计图样可以生产适应各种齿间距的齿轮传感器芯片。此外，该传感器芯片设计中心部位采用大响应区域实现超高分辨率，特别有利于磁栅尺方面应用。传感器响应方向同响应通道排列方向一致，能够有效避免强背磁场将传感器芯片进入饱和态。此外，该磁电阻齿轮传感器还具有小尺寸，低功耗，大阻抗，高信噪比以及对空气间隙的高适应性。

主权项

一种用于微齿距检测的隧道结磁电阻齿轮传感器芯片，其特征在于，所述传感器芯片包括：硅基板，位于硅基板上的一个或多个响应区域，响应区域位于芯片同一侧边沿部位，每个响应区域包含至少两个矩形且沿矩形长边平行排列的响应通道，每个响应通道由至少两条探测臂拼合形成，每条探测臂由至少两条梳齿结构串联而成，每条梳齿结构为至少两个磁电阻及覆盖于所述磁电阻两端的上电极、下电极串连而成，单个所述磁电阻为椭圆柱状结构，所述磁电阻长轴与所述响应通道的长边平行。