[实用新型]双工件台垂直曝光装置有效
| 申请号： | 201620208339.5 | 申请日： | 2016-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN205539932U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 平洁 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州市三联专利事务所 32220 | 代理人： | 周爱芳 |
| 地址： | 221399 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双工件台垂直曝光装置，包括至少一组曝光单元、分光镜（3）、反射镜（4），以及两个用于固定工件的垂直工件台Ⅰ（5）和工件台Ⅱ（6）；所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列（1）和成像透镜组（2）；所述分光镜（3）置于曝光单元之后、工件台之前；所述反射镜（4）置于分光镜（3）正下方。本双工件台垂直曝光装置取消了单工件台水平曝光的方式，取而代之的是垂直曝光双工件台，在不改变照明光路和曝光单元的基础上，加入分光镜及反光镜，增加工件台数量。本双工件台垂直曝光装置在节约成本的同时大幅度提高了曝光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 双工 垂直 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种双工件台垂直曝光装置，其特征在于，包括至少一组曝光单元、分光镜（3）、反射镜（4），以及两个用于固定工件的垂直工件台Ⅰ（5）和工件台Ⅱ（6）；所述曝光单元包括DMD微反射镜阵列（1）和成像透镜组（2）；所述分光镜（3）置于曝光单元之后、工件台之前；所述反射镜（4）置于分光镜（3）正下方。
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