[实用新型]一种成膜厚度监测仪有效
| 申请号： | 201620201348.1 | 申请日： | 2016-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN205619871U | 公开（公告）日： | 2016-10-05 |
| 发明（设计）人： | 王立虎;刘青健 | 申请（专利权）人： | 应达利电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 王利彬 |
| 地址： | 518103 广东省深圳市宝安区福永*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于成膜厚度监测领域，提供了一种成膜厚度监测仪，包括石英晶体谐振器、频率‑厚度信号转换器、显示器；所述石英晶体谐振器包括压电石英晶片、金属电极、具有开孔的外盖；所述金属电极覆盖在所述压电石英晶片上，并位于所述外盖的开孔下方；所述石英晶体谐振器的输出端连接所述频率‑厚度信号转换器的输入端，用于输出压电石英晶片的谐振频率；所述频率‑厚度信号转换器的输出端连接所述显示器的输入端，用于实时接收谐振频率，并将所述谐振频率转换成厚度数据后，输出所述厚度数据到显示器；所述显示器用于实时接收厚度数据，并显示出来。本实用新型提供的一种成膜厚度监测仪，实现了成膜厚度的精确监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚度 监测 | ||
【主权项】：
一种成膜厚度监测仪，其特征在于，包括石英晶体谐振器、频率‑厚度信号转换器、显示器；所述石英晶体谐振器包括压电石英晶片、金属电极、具有开孔的外盖；所述金属电极覆盖在所述压电石英晶片上，并位于所述外盖的开孔下方；所述石英晶体谐振器的输出端连接所述频率‑厚度信号转换器的输入端，用于输出压电石英晶片的谐振频率；所述频率‑厚度信号转换器的输出端连接所述显示器的输入端，用于实时接收谐振频率，并将所述谐振频率转换成厚度数据后，输出所述厚度数据；所述显示器用于实时接收厚度数据，并显示出来。
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