[实用新型]用于扩散炉整段测温的多点热电偶结构有效
| 申请号： | 201620109983.7 | 申请日： | 2016-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN205607556U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 周洪琴;刘仁聪 | 申请（专利权）人： | 重庆市大正温度仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 重庆市前沿专利事务所(普通合伙) 50211 | 代理人： | 顾晓玲 |
| 地址： | 400711 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于扩散炉整段测温的多点热电偶结构，该结构包括保护套管和一根多孔绝缘芯棒，多孔绝缘芯棒装在保护套管内，多孔绝缘芯棒包括N个测温点，N为正整数，每一个测温点上设置有一对热电偶，不同测温点上设置的热电偶相互独立，热电偶的输出端经卡套接头与接插件相连。本实用新型采用该结构具有多个测温点，能够准确检测扩散炉内的整段实际温度，炉温均匀性能得到可靠的保证，避免炉内硅片因扩散温度不一致而导致报废，造成不必要的经济损失。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扩散 炉整段 测温 多点 热电偶 结构 | ||
【主权项】：
一种用于扩散炉整段测温的多点热电偶结构，其特征在于，包括保护套管和一根多孔绝缘芯棒，所述多孔绝缘芯棒装在保护套管内，所述多孔绝缘芯棒包括N个测温点，所述N为正整数，每一个测温点上设置有一对热电偶，不同测温点上设置的热电偶相互独立，热电偶的输出端经卡套接头与接插件相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆市大正温度仪表有限公司，未经重庆市大正温度仪表有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620109983.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高精度电子温度计
- 下一篇：一种光信号采集装置
