[实用新型]一种可减少坩埚沉积物的石英坩埚熔制机有效
申请号: | 201620102813.6 | 申请日: | 2016-02-01 |
公开(公告)号: | CN205528391U | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 韩东;赵亮;祝立君;杜兴林 | 申请(专利权)人: | 内蒙古欧晶科技股份有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种可减少坩埚沉积物的石英坩埚熔制机,其包括石英坩埚上方的大孔遮热板,所述大孔遮热板的中心开孔直径为350—500mm,所述大孔遮热板的中心开孔处设有三根电极,在大孔遮热板上方设有石英罩,所述石英罩的中心设有石英罩开孔,且所述石英罩开孔正对所述大孔遮热板的中心开孔,其还包括有电极吹扫系统。本实用新型通过增加电极吹扫系统,将电极上的沉积物吹散、吹落,防止沉积物过度累积,再结合石英罩,利用坩埚内热气流的引导作用将沉积物排出,起到烟筒效应,使得沉积物排出更彻底;5、将排风系统与电极吹扫系统相结合,提高产品的合格率和品质,合格率提高2-4%。 | ||
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【主权项】:
一种可减少坩埚沉积物的石英坩埚熔制机,其包括石英坩埚上方的大孔遮热板,所述大孔遮热板的中心开孔直径为350—500mm,所述大孔遮热板的中心开孔处设有三根电极,在大孔遮热板上方设有石英罩,所述石英罩的中心设有石英罩开孔,且所述石英罩开孔正对所述大孔遮热板的中心开孔,其特征在于,其还包括有电极吹扫系统,所述电极吹扫系统包括两根石英管和压缩空气供给控制系统;每根所述石英管均设置于所述大孔遮热板上方,所述石英管的进气口端穿过所述石英罩,并与所述压缩空气供给控制系统连接,所述石英管的出气口端至电极的距离为坩埚半径的0.5~0.8倍,每根所述石英管的轴线分别经过三根所述电极中的两根,且两根所述石英管的轴线相交于一点。
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