[实用新型]一种多功能管式气氛反应器

摘要

本实用新型涉及一种多功能管式气氛反应器，属于冶金设备技术领域。该反应器包括腔体、真空泵和控制装置，所述腔体包括硅碳棒、磁控管、热电偶、红外测温仪、坩埚、石英管、金属炉门、气管、气管阀门、真空泵阀门和气压表，控制装置包括PID控制器，腔体上均匀分布设有硅碳棒和磁控管，腔体内部设有石英管，石英管两端设有金属炉门，金属炉门中心位置设有气管，气管上设有气管阀门，石英管内部设有坩埚，腔体中间位置插入热电偶和红外测温仪，腔体底部设有与石英管相通的管道，管道连接真空泵，管道上设有真空泵阀门和气压表，硅碳棒、磁控管、热电偶、红外测温仪、真空泵分别连接PID控制器。该反应器解决了现有管式反应器存在功能单一问题。

主权项

一种多功能管式气氛反应器，其特征在于：包括腔体（10）、真空泵（13）和控制装置（15），所述腔体（10）包括硅碳棒（1）、磁控管（2）、热电偶（3）、红外测温仪（4）、坩埚（5）、石英管（6）、金属炉门（7）、气管（8）、气管阀门（9）、真空泵阀门（12）和气压表（14），控制装置（15）包括PID控制器（11），腔体（10）上均匀分布设有硅碳棒（1）和磁控管（2），腔体（10）内部设有石英管（6），石英管（6）两端设有金属炉门（7），金属炉门（7）中心位置设有气管（8），气管（8）上设有气管阀门（9），石英管（6）内部设有坩埚（5），腔体（10）中间位置插入热电偶（3）和红外测温仪（4），腔体（10）底部设有与石英管（6）相通的管道，管道连接真空泵（13），管道上设有真空泵阀门（12）和气压表（14），硅碳棒（1）、磁控管（2）、热电偶（3）、红外测温仪（4）、真空泵（13）分别连接PID控制器（11）。