[实用新型]一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置有效
| 申请号： | 201620055595.5 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN205528994U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 蒲天;罗旌旺;吴兢;芮春保 | 申请（专利权）人： | 江苏辉伦太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210061 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，包括自上而下设置的承载台、掩膜底座、掩膜图版和压条，所述掩膜底座为一个中空的方形框架，所述承载台嵌套于掩膜底座内，所述掩膜底座和掩膜图版上均设置有对准槽，所述掩膜底座、掩膜图版和压条上均设置有圆孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座、掩膜图版和压条紧固为一体式。本实用新型采用全金属材料，不易变形、老化、可反复使用。本实用新型的导热性好，可以通过镀膜机的机台冷却，保护样品不受高温的影响。当掩膜图形改变时，仅需要只要重新设计掩膜图版进行替换就可，装置其他部分可以继续使用，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳电池 背面 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种用于太阳电池背面镀膜的掩膜装置，其特征在于：包括自上而下设置的承载台（1）、掩膜底座（2）、掩膜图版（3）和压板（4），所述掩膜底座（2）为一个中空的方形框架，所述承载台（1）嵌套于掩膜底座（2）内，所述掩膜底座（2）和掩膜图版（3）上均设置有对准槽，所述掩膜底座（2）、掩膜图版（3）和压板（4）上均设置有圆孔，圆孔内设有螺丝将掩膜底座（2）、掩膜图版（3）和压板（4）紧固为一体式。
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