[实用新型]一种晶片清洗除砂装置

摘要

本实用新型公开了一种晶片清洗除砂装置，包括工作台、网框与不锈钢格网；工作台的台面四周设有挡板，下方设置支撑板；工作台上安装有微波初洗槽、清水槽以及微波终洗槽；微波初洗槽、清洗槽的边缘高出工作台台面；微波终洗槽边缘与工作台台面齐平；微波洗槽都包括槽体与设置于槽体下方的微波发生器组成；槽上方装有设有流量计的进水管，侧壁设有废液排出管；清水槽上方设有清水喷淋装置喷淋头，底部设有出水口；不锈钢格网安装于微波终洗槽的终洗槽体内。本实用新型在晶片完成研磨后，依次经过高浓度微波初洗、清水喷淋以及低浓度微波洁净过程，通过三步骤紧密配合，清洗质量高，而且装置结构合理，是一种清洗效果好、操作安全的装置。

主权项

一种晶片清洗除砂装置，其特征在于：所述晶片清洗除砂装置包括工作台、网框与不锈钢格网；所述工作台包括台面以及支撑腿；所述工作台的台面四周设有高度为2～3毫米的挡板；所述工作台上安装有微波初洗槽、清水槽以及微波终洗槽；所述清水槽位于微波初洗槽与微波终洗槽之间；所述微波初洗槽的边缘高出工作台台面3～4毫米；所述清洗槽边缘高出工作台台面3～4毫米；所述微波终洗槽边缘与工作台台面齐平；所述网框由网框本体以及位于网框本体上部外侧的支撑杆组成；所述网框本体位于初洗槽内，利用支撑杆担载于初洗槽边缘；所述微波初洗槽包括初洗槽体与设置于初洗槽体下方的微波发生器；所述微波终洗槽包括终洗槽体与位于终洗槽体下方的微波发生器；所述清水槽上方设有清水喷淋装置，底部设有出水口；所述微波初洗槽上部装有初洗进水管，侧壁设有初洗废液排出管；所述初洗进水管上设有流量计；所述初洗废液排出管上设有阀门；所述微波终洗槽上部装有终洗进水管，侧壁设有终洗废液排出管；所述终洗进水管上设有流量计；所述终洗废液排出管上设有阀门；所述不锈钢格网安装于微波终洗槽的终洗槽体内，位于终洗废液排出管上方。