[发明专利]一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置在审
| 申请号： | 201611267474.8 | 申请日： | 2016-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN106773565A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 吴琼;曹永珍;何少锋 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H04N5/225;H04N5/372 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙)34115 | 代理人： | 宋倩,奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，包括CCD相机、安装在CCD相机上的光学镜头以及固定在光学镜头上的照明光源，所述光学镜头采用双侧远心镜头，所述照明光源包括点光源和环形光源，所述点光源用于为光学镜头提供同轴照明，所述环形光源用于为光学镜头提供低角度照明。本发明通过采用双侧远心镜头来保证抓图准确性，且在景深范围内，可满足实时动态抓图，通过采用同轴点光源和环形光源来实现明、暗视野双照明；本发明结构紧凑，设计合理，通过切换不同的照明方式，可实现不同基板、不同印刷材料的图像抓取，满足直写光刻设备所有基底的高亮度、高对比度、高精度的图像采集需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 设备 中的 光源 照明 方式 图像 采集 装置 | ||
【主权项】：
一种直写光刻设备中的双光源双照明方式的图像采集装置，包括CCD相机、安装在CCD相机上的光学镜头以及固定在光学镜头上的照明光源，其特征在于：所述光学镜头采用双侧远心镜头，所述照明光源包括点光源和环形光源，所述点光源用于为光学镜头提供同轴照明，所述环形光源用于为光学镜头提供低角度照明。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备有限公司，未经合肥芯碁微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611267474.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：纸币处理模块（BR‑15YT）
- 下一篇：蛋糕
