[发明专利]一种镀膜玻璃夹持机构在审
| 申请号： | 201611261093.9 | 申请日： | 2016-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106835057A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 彭超;郑琮錡 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建,何娇 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜玻璃夹持机构，其包括基板座、垫片及夹钳，所述基板座用于支撑玻璃基板，所述玻璃基板的边缘通过夹钳固定在基板座上，其中，所述基板座用于支撑玻璃基板的一侧由上向下依次设置有水平的第一表面、竖直的第二表面以及水平的第三表面，其中第一表面和第二表面之间通过第一过渡面连接，第二表面和第三表面之间通过第二过渡面连接。本发明能够增加镀膜的有效面积，使膜层不容易脱落，增强其对靶材粒子的附着能力，有效改善镀膜腔体内粒子状况，延长清洗品的使用时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 玻璃 夹持 机构 | ||
【主权项】：
一种镀膜玻璃夹持机构，其特征在于，包括：基板座、垫片及夹钳，所述基板座用于支撑玻璃基板，所述玻璃基板的边缘通过夹钳固定在基板座上，其中，所述基板座用于支撑玻璃基板的一侧设置有第一表面、第三表面以及设置在第一表面和第三表面之间的第二表面，其中第一表面为水平方向，第二表面为竖直方向，第三表面为水平方向，并且第一表面和第二表面之间通过第一过渡面连接，第二表面和第三表面之间通过第二过渡面连接。
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