[发明专利]低温泵

摘要

本发明提供一种低温泵。本发明的目的在于提高低温泵的非冷凝性气体的排气性能。本发明的低温泵(10)具备：第2低温板单元(20)，其与制冷机(16)的第2冷却台(24)热连接；放射屏蔽件(30)，其具有屏蔽件主开口(34)、屏蔽件侧部开口(44)及屏蔽件底部开口(42)；及低温泵壳体(70)，其具有面向屏蔽件底部开口(42)的壳体底部(74)。屏蔽件底部开口(42)的尺寸大于从第2低温板单元(20)到壳体底部(74)为止的距离。

主权项

1.一种低温泵，其特征在于，具备：制冷机，其具有冷却至第1冷却温度的第1冷却台、冷却至比所述第1冷却温度更低的第2冷却温度的第2冷却台及结构上将所述第2冷却台支承于所述第1冷却台的制冷机结构部；低温板单元，其与所述第2冷却台热连接；放射屏蔽件，其具有屏蔽件主开口、屏蔽件侧部开口及屏蔽件底部开口，所述放射屏蔽件包围所述第2冷却台及所述低温板单元，在所述制冷机结构部贯穿于所述屏蔽件侧部开口的状态下，所述放射屏蔽件热连接于所述第1冷却台；及低温泵壳体，其具有面向所述屏蔽件底部开口的壳体底部，所述低温泵壳体包围所述放射屏蔽件，所述屏蔽件底部开口的尺寸大于从所述低温板单元到所述壳体底部为止的距离。