[发明专利]一种双声表面波应变传感器及其设计方法在审
申请号: | 201611233408.9 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN106840056A | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 彭斌;邓泽佳;张万里;李凌;崔亦霖;弓冬冬;周伟;谢小伟;喻恒 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G01B17/04 | 分类号: | G01B17/04 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心51203 | 代理人: | 闫树平 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明属于声表面波传感器的设计领域,具体为一种基于硅酸镓镧的双声表面波应变传感器及其设计方法。本发明通过在同一块LGS基片上关于欧拉角为(0°,138.5°,90°)对称的两个切向上分别制作一个声表面波谐振器,利用两个谐振器温度频率特性相同的特点,从而制成双SAW应变传感器,旨在消除SAW应变传感器在应变测试的过程中温度对于它的影响。本发明所设计的双SAW应变传感器能将应变从温度的影响中分离出来,极大地减小了温度对于应变测试所造成的影响,可以在任何基片能承受的温度范围内,实现对应变的准确测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 双声 表面波 应变 传感器 及其 设计 方法 | ||
【主权项】:
一种双声表面波应变传感器,包括第一SAW谐振器、第二SAW谐振器和一块硅酸镓镧LGS压电基片,其特征在于:第一、第二SAW谐振器互为2X°夹角制作在LGS压电基片上,并以并联的方式进行电路连接,其中80<X<90或0<X<10。
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