[发明专利]一种长波长垂直腔面发射激光器

摘要

本发明公开了一种长波长垂直腔面发射激光器，包括衬底，衬底上依次为n型DBR、n型空间层、有源区、p型空间层、出光孔，p面电极蒸镀于p型空间层上，并包围出光孔，n型DBR中间设有电流限制层，电流限制层上形成有圆形电流限制孔，衬底和n型DBR为等直径的圆台型结构，其直径大于所述出光孔的直径，小于长波长垂直腔面发射激光器最终解离芯片横向尺寸。该结构能够减小长波长垂直腔面发射激光器内部的串联电阻，增加注入载流子的效率，实现器件的高速特性的改进。

主权项

1.一种长波长垂直腔面发射激光器，该长波长垂直腔面发射激光器由下至上依次包括衬底(8)、n型DBR(6)、n型空间层(5)、有源区(4)、p型空间层(3)、出光孔(9)和p面电极(2)，其中p面电极(2)蒸镀于p型空间层(3)上，并包围出光孔(9)，n型DBR(6)中间设有电流限制层(10)，电流限制层(10)上形成有圆形电流限制孔(11)，其特征在于，所述衬底(8)和n型DBR(6)为等直径的圆台型结构，其直径大于所述出光孔(9)的直径，小于长波长垂直腔面发射激光器最终解离芯片横向尺寸；n面电极(7)，其蒸镀于所述衬底(8)和n型DBR(6)形成的等直径的圆台型结构的底面和侧面。