[发明专利]一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置

摘要

本发明提供一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置，测量装置包含激光系统，一个位于由计算机控制的移动平台上的待测样品，CCD在线损伤判断装置以及测量热反射信号的两个Si雪崩光电二极管探测器和一个示波器；使用两束不同激光，一束是纳秒脉冲主激光，辐照光学薄膜诱导光学薄膜损伤，另一激光为探测激光，与主激光成一定角度射到样品表面，通过实时检测探测激光在光学薄膜表面的热反射信号来测量光学薄膜在主激光诱导的损伤过程中温度的实时变化。可以实时测量纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤过程中表面的温度，为纳秒脉冲激光诱导光学薄膜损伤机理的确定提供实验依据。

主权项

1.一种光学薄膜损伤过程中表面温度的实时测量装置，其特征在于，它的测量装置包含输出波长为λ₁的第一激光器、用于准直光路协助监测损伤破坏的第二激光器以及用于探测光路的第三激光器的激光系统，一个位于由计算机控制的移动平台上的待测样品，用于判断损伤的CCD在线损伤判断装置以及测量热反射信号的两个Si雪崩光电二极管探测器和一个示波器；在所述的第一激光器输出的光路上依次设置45度转折镜一、激光能量衰减器、45度转折镜二、分光镜以及透镜，波长为λ₁的第一激光辐照在处于移动平台上的待测样品，在所述的分光镜的反射光路上设置能量计，用于测量波长为λ₁的第一激光器的能量；在所述的第三激光器输出光路上设置分束镜，把探测光束分成两束，一束设置45度转折镜三转折光路，在分束镜的反射光路上设置Si雪崩光电二极管探测器二测量反射的探测激光的能量以监控探测激光输出激光的稳定性；另一束通过反射镜反射在待测样品上，待测样品表面的瞬时热反射信号被Si雪崩光电二极管探测器一测量，并被示波器记录，示波器通过数据线与计算机串口相连；所述的CCD在线损伤判断装置在测量过程中必须对准损伤测量点，并依赖第二激光器的He‑Ne激光在待测样品表面的散射来判断损伤的发生。