[发明专利]基于惯性导航机制的石英晶片在线研磨的测控方法

摘要

本发明公开了基于惯性导航机制的石英晶片在线研磨的测控方法，包括如下步骤：初始化数据、谐振频率自动搜索流程、跟踪测频流程、惯性导航流程；本发明的优点在于：石英晶片研磨在线测频的自动搜索方法，具有抗干扰性强、运行稳定、统计参数多样、全自动化的晶片研磨。

主权项

1.基于惯性导航机制的石英晶片在线研磨的测控方法，其特征在于，包括如下步骤：初始化数据步骤、谐振频率自动搜索流程步骤、跟踪测频流程步骤、惯性导航流程步骤；101）初始化数据设置和检测步骤：对异常监控、统计控制、测频策略和研磨程序的参数进行初始化设置，并对研磨机控制模块进行自检，确保设备控制正常；102）谐振频率自动搜索流程步骤：步骤101）设置后，通过谐振频率自动搜索、自动搜索频率切换参数设置和自动搜索完成数据处理，来实行自动搜索；103）跟踪测试流程步骤：通过步骤102）自动搜索成功后，进入跟踪测试，其包括进行参数初始化，扫频参数设置、进行DDS扫频，扫频数据的处理，数据的进一步分析处理和对参数的重新设置；104）惯性导航流程步骤：在步骤103）处理异常数据时启动惯性导航，首先根据石英晶片当前研磨速率得到DDS扫频的起始频率和截止频率，然后根据得到的DDS扫频的起始频率和截止频率分别更新峰值约束、搜索宽度、扫频幅度、扫频步进参数，所述扫频起始频率为当前扫频频率值加上谐振频率速率与指定圈数的乘积值，用于模拟参数弥补部分数据的缺失；参数更新完成后将DDS的扫频参数写入DDS，返回步骤103）中的DDS扫频。