[发明专利]曝光设备有效
申请号: | 201611184425.8 | 申请日: | 2016-12-20 |
公开(公告)号: | CN106406036B | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 龚志平 | 申请(专利权)人: | 广东莱宝智能装备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 刘汉民 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种曝光设备,曝光组件包括位置调节机构、吸附平台以及曝光模板固定平台,吸附平台固定安装于安装方孔中,曝光模板固定平台置于位置调节机构之上,进料机构及出料机构对称置于曝光组件的后侧及前侧;安装机罩罩设于安装机架之外,安装机罩于曝光模板固定平台的上方开设有进光孔;光源发生器安装于光源底座上,光线传递架安装于光源底座的上方,第一反射镜安装于光线传递架上且位于光源发生器的上方,光线传递架延伸至进光孔的上方,第二反射镜安装于光线传递架上,且第二反射镜正对进光孔,光源机罩罩设于光源底座及光线传递架之外。本发明曝光设备能自动输入输出菲林并自动完成曝光,大大提高了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 曝光 设备 | ||
【主权项】:
1.一种曝光设备,其特征在于,包括:曝光安装模组,所述曝光安装模组包括安装机罩、安装机架以及安装于所述安装机架上的进料机构、出料机构、曝光组件以及控制面板,所述曝光组件包括位置调节机构、吸附平台以及曝光模板固定平台,所述曝光模板固定平台的中部开设有安装方孔,所述吸附平台固定安装于所述安装方孔中,所述吸附平台上开设有若干吸附孔,所述曝光模板固定平台于所述安装方孔的四周设置有模板固定治具,所述曝光模板固定平台置于所述位置调节机构之上,所述位置调节机构用于调节所述曝光模板固定平台的水平位置、垂直位置以及旋转角度位置,所述进料机构及出料机构结构相同,对称置于所述曝光组件的后侧及前侧;所述安装机罩罩设于所述安装机架之外,所述安装机罩于所述曝光模板固定平台的上方开设有进光孔;光源模组,所述光源模组包括光源机罩、光源底座、光线传递架、光源发生器、第一反射镜以及第二反射镜,所述光源发生器安装于所述光源底座上,所述光线传递架安装于所述光源底座的上方,所述第一反射镜安装于所述光线传递架上且位于所述光源发生器的上方,所述光线传递架延伸至所述进光孔的上方,所述第二反射镜安装于所述光线传递架上,且所述第二反射镜正对所述进光孔,所述光源机罩罩设于所述光源底座及所述光线传递架之外。
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