[发明专利]一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备

摘要

本发明公开了一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，包括有第一真空腔体、第二真空腔体、第三真空腔体、第一密封门、第二密封门、第三密封门、抽真空系统、显示控制系统和柜体，所述第一真空腔体、第二真空腔体和第三真空腔体组成相同，每个真空腔体均包括有左侧热辐射室、右侧热辐射室和位于左、右热辐射室之间的工作室。抽真空系统由分子泵、前级泵、预抽泵和真空电磁阀门组成，一套抽真空系统即可对多个腔体抽真空；预抽泵用于真空腔体的第一级抽空，前级泵用于对分子泵抽空工作维持，必要时也可兼做预抽泵，整个系统抽真空时间短；本发明实现多个真空腔体独立控制、显示，可以单独停止和再启动操作，实现真正意义上的互不干扰。

主权项

一种可独立控制的多真空腔体高温存储设备，其特征在于：包括第一真空腔体、第二真空腔体、第三真空腔体、第一密封门、第二密封门、第三密封门、抽真空系统、显示控制系统和柜体，所述第一真空腔体、第二真空腔体和第三真空腔体组成相同，所述每个真空腔体均包括有左侧热辐射室、右侧热辐射室和位于左、右热辐射室之间的工作室。