[发明专利]重掺硅单晶直拉生长温度信号的保障方法在审
| 申请号： | 201611125257.5 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108166054A | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 方峰;王学锋;郑沉;邓德辉 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种重掺硅单晶直拉生长温度信号的保障方法，在温度测量孔内衬砌一光亮的薄钼管。所述钼管的一端嵌入热场的固化保温桶外壁，并延伸至固化保温桶的取光孔，与温度传感器在同一直线上。本发明的方法能够改善拉晶条件，为单晶生长提供稳定的环境；对增加成晶率、分析生长程序等提供较大益处，更能减少工艺异常情况的出现，避免一些操作失误对生产造成意外损失。 1 | ||
| 搜索关键词： | 固化保温 温度信号 硅单晶 直拉 钼管 生长 温度测量孔 温度传感器 操作失误 单晶生长 同一直线 桶外壁 光孔 拉晶 内衬 热场 嵌入 延伸 分析 生产 | ||
【主权项】：
1.一种重掺硅单晶直拉生长温度信号的保障方法，其特征在于，在温度测量孔内衬砌一光亮的薄钼管。2.根据权利要求1所述的重掺硅单晶直拉生长温度信号的保障方法，其特征在于，所述钼管的一端嵌入热场的固化保温桶外壁，并延伸至固化保温桶的取光孔，与温度传感器在同一直线上。
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