[发明专利]一种多孔氧化物包裹电池硅负极材料的制备方法

摘要

本发明提供一种多孔氧化物包裹电池硅负极材料的制备方法，涉及锂离子电池负极材料制备技术领域。本发明制备方法包括硅负极材料烘干处理；用乙醇对硅负极材料进行表面钝化处理；再在气相原子层沉积腔体进行设定的循环周期沉积，即得到多孔氧化物包裹电池硅负极材料。本发明制备方法简单，重复性好，制备的锂离子电池硅负极材料既具有大比容量，又能够抑制锂离子电池充放电过程中硅负极材料的膨胀，使得本发明锂离子电池硅负极材料的具有良好的充放电循环性能。

主权项

1.一种多孔氧化物包裹电池硅负极材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、将硅负极材料放入温度为60‑75℃的烘箱中烘6‑10h，再放入试剂瓶中封口备用；S2、将步骤S1得到的硅负极材料放入气相原子层沉积腔体中，腔体温度为120‑150℃，以乙醇为脉冲前驱体，以高纯氮气为载气，乙醇的脉冲时间为30‑50s，再用高纯氮气吹掉多余的乙醇，得到表面钝化处理的硅负极材料；S3、将载有表面钝化处理的硅负极材料的气相原子层沉积腔体升温至200‑300℃，加入与氧化物对应的第一前驱体、第二前驱体，分别设定与第一前驱体、第二前驱体对应的加热温度，设定循环周期m，得到一个循环周期沉积的氧化物包裹硅负极材料，且第一前驱体的脉冲时间为50‑100s、吹扫时间为90‑110s，第二前驱体的脉冲时间为30‑60s、吹扫时间为90‑110s；所述氧化物为三氧化二镓、五氧化二铌、五氧化二钽中的一种；S4、按照设定循环周期，开始循环沉积，继续完成m‑1个循环周期，即可。