[发明专利]激光装置

摘要

一种能够可靠地防止结露的激光装置。在激光装置中，在激光振荡中，向激光装置的内部供给的冷却水的温度被控制为第一规定温度范围内，并且，持续进行除湿使得维持(激光装置的内部的空气的露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系。根据激光装置的内部的空气的湿度和温度，通过计算部求出该空气的露点。

主权项

1.一种激光装置，具备激光振荡器以及向所述激光振荡器提供驱动电流的电源部，该激光装置的特征在于，构成为从该激光装置的外部的冷却水供给装置供给冷却水以对该激光装置的内部的发热部件进行冷却，所述激光装置具备：壳体，其具备将从所述激光装置的外部向所述激光装置的内部的空气侵入流量抑制为规定的值以下的密封度；除湿器，其对所述激光装置的内部的空气进行除湿；湿度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的湿度；第一温度检测器，其检测所述激光装置的内部的空气的温度；第二温度检测器，其检测从所述激光装置的外部供给的冷却水的温度；计算部，其根据所述湿度检测器和所述第一温度检测器的检测结果，来计算所述激光装置的内部的空气的露点；判定部，其根据所述第二温度检测器的检测结果以及由所述计算部计算出的所述露点，判定是否满足流入开始条件或者振荡开始条件，该流入开始条件是开始向所述激光装置的内部流通所述冷却水的条件，该振荡开始条件是从所述电源部向所述激光振荡器提供驱动电流来在所述激光振荡器中开始激光振荡的条件；以及控制部，其按照所述判定部的判定结果，对设置于从所述冷却水供给装置供给的冷却水的配管的开闭阀的开闭、或者从所述电源部向所述激光振荡器的驱动电力的供给进行控制，所述控制部构成为：在所述判定部将由所述计算部计算出的所述露点与由所述第二温度检测器检测出的冷却水温度进行比较后判定为满足了(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系以及(激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度)≤(冷却水温度)≤(激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度)的关系这两方的关系的时间点，所述控制部打开设置于所述配管的所述开闭阀来开始向所述激光装置的内部流通冷却水，之后向所述激光振荡器提供驱动电流来开始激光振荡，在激光振荡中，所述冷却水供给装置构成为持续供给被控制为第一规定温度范围内的冷却水，该第一规定温度范围是从所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度到所述激光振荡时的冷却水温度的上限容许温度的范围，并且，所述除湿器构成为持续进行除湿以维持(露点)+(第一规定温度差)≤(冷却水温度)的关系，所述激光装置还具备对所述激光装置的内部的空气的温度进行调整的空气温度调节器，基于来自所述控制部的指令，通过所述空气温度调节器进行控制，使得由所述第一温度检测器检测的所述激光装置的内部的空气的温度进入第三规定温度范围内，该第三规定温度范围具有与所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度大致同温的下限值、或者比所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度高的下限值，在所述激光装置的内部的空气的温度进入所述第三规定温度范围内之后，通过所述空气温度调节器进行控制，使得所述激光装置的内部的空气的温度不脱离所述第三规定温度范围内，通过所述空气温度调节器将所述激光装置的内部的空气的温度控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上，所述激光装置具备检测所述激光装置的外部温度或所述壳体的温度的第三温度检测器，所述第三规定温度范围被设定为随时间变化的条件，所述第三规定温度范围的下限温度被设定为所述激光振荡时的冷却水温度的下限容许温度与第二规定温度差相加而得到的温度以及由所述第三温度检测器检测出的温度减去第三规定温度差而得到的温度中的较高一方的温度，所述激光装置的内部的空气温度被控制为所述第三规定温度范围内或所述第三规定温度范围的下限温度以上。