[发明专利]一种铌基表面抗氧化自愈合Cr/NiCr涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种铌基表面抗氧化自愈合Cr/NiCr涂层的制备方法，该方法为：一、铌或铌合金基体经预处理后，利用所述Cr靶产生的Cr离子对铌基金属表面进行离子轰击清洗；二、利用电弧Cr靶产生的Cr离子，在铌基金属表面沉积Cr过渡层；三、利用电弧Ni靶、Cr靶产生的Ni离子和Cr离子在Cr过渡层的表面沉积NiCr复合层；四、利用电弧Cr靶产生的Cr离子对NiCr中间复合层进行表面轰击和溅射；五、重复三和四至少三次后，在铌基金属表面得到厚度不低于15μm的致密Cr/NiCr多层复合涂层。本发明保证了涂层的低温沉积，降低涂层制备工艺参数对基体综合性能的损伤，又保证了涂层的致密性以及优异的抗氧化性能。

主权项

1.一种铌基表面抗氧化自愈合Cr/NiCr涂层的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、铌或铌合金基体依次经过表面酸洗、抛光、喷砂、超声波无水乙醇清洗和烘干后，放入真空等离子物理气相沉积设备的真空室中，向所述真空室内通入氩气至室内气压为0.01～0.1Pa，打开电弧Cr靶，利用所述电弧Cr靶在放电条件下产生的Cr离子对铌或铌合金基体表面进行离子轰击清洗；通过真空等离子物理气相沉积设备控制所述铌或铌合金基体的温度为25℃～500℃；步骤二、待步骤一中所述离子轰击清洗完毕后向真空室内通入氩气至室内气压为0.1Pa～0.6Pa，利用电弧Cr靶放电产生的Cr离子，向步骤一中经离子轰击清洗后的铌或铌合金基体的表面沉积Cr过渡层；步骤三、待步骤二中所述沉积Cr过渡层完毕后向真空室内通入氩气至室内气压为0.1Pa～0.6Pa，利用电弧Ni靶、Cr靶共同放电产生的Ni离子和Cr离子，向步骤二所述Cr过渡层的表面沉积NiCr复合层；所述Ni靶和Cr靶的功率密度比为(1～5)：1；步骤四、待步骤三中所述沉积NiCr复合层完毕后向真空室内通入氩气至室内压力为0.1Pa～0.6Pa，打开电弧Cr靶，利用电弧Cr靶在放电条件下产生的Cr离子对步骤三中所述NiCr中间复合层进行表面轰击溅射；步骤五、重复步骤三和步骤四至少三次后，在铌或铌合金基体表面得到厚度不低于15μm的Cr/NiCr多层复合涂层。