[发明专利]抛光检测装置

摘要

本发明涉及一种抛光检测装置。所述抛光检测装置包括底座、抛光机构、检测机构以及喷液管，所述底座中开设有集液槽，所述集液槽中设置有格栅，所述底座的周缘开设有多个溢出缺口，所述格栅上设置有抛光座，所述抛光机构包括驱动件以及抛光件，所述检测机构包括装设件以及检测器件。所述底座包括圆形底板以及环绕所述圆形底板的侧板，所述圆形底板及所述侧板围绕形成所述集液槽，所述格栅设置于所述圆形底板上，所述格栅包括相互交错的多个横隔板以及多个纵隔板。所述抛光检测装置有利于排出废液、节省工序且所述抛光座的固定较为容易。

主权项

1.一种抛光检测装置，其特征在于，包括底座、抛光机构、检测机构以及喷液管，所述底座中开设有集液槽，所述集液槽中设置有格栅，所述底座的周缘开设有多个溢出缺口，所述多个溢出缺口与所述集液槽连通，所述格栅上设置有抛光座，所述抛光机构设置于所述底座的侧边，所述抛光机构包括驱动件以及连接于所述驱动件上的抛光件，所述抛光件处于所述抛光座的一侧，所述检测机构包括装设件以及设置于所述装设件上的检测器件，所述装设件装设于所述底座的周缘，所述检测器件处于所述抛光座远离所述底座的一侧，所述喷液管邻近所述抛光座设置；所述底座包括圆形底板以及环绕所述圆形底板的侧板，所述圆形底板及所述侧板围绕形成所述集液槽，所述格栅设置于所述圆形底板上，所述格栅包括相互交错的多个横隔板以及多个纵隔板；所述装设件包括多个连接杆以及装设板，所述连接杆的两端分别连接所述装设板与所述底座，所述装设板上形成有凹陷部，所述检测器件收容于所述凹陷部中并固定于所述装设板上。