[发明专利]一种激光加工装置及方法在审
| 申请号： | 201611075252.6 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN108115296A | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 赵华龙;武杰杰 | 申请（专利权）人： | 深圳中科光子科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;B23K37/04;B23K26/064;B23K26/14 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华新区龙华街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种激光加工装置包括：支撑件，用于固定待加工工件；激光器，用于接收启动指令发送激光束；扩束器，用于将所述激光束扩束整形后，输出具有均匀能量密度的激光束；扫描振镜，用于调整所述激光束的角度，将激光束汇聚在激光加工的位置；聚焦镜，用于根据所述激光加工的位置，将所述激光束聚焦在工件上形成光斑进行加工；液体槽，置于所述工件的下方，用于存储可降温的液体，当加工时升温导致存储的可降温的液体汽化时，带走所述工件的热量；吸水体，置于所述工件下方的所述液体槽中，所述吸水体的上表面与所述工件的下表面接触，用于吸收液体，将液体附着于所述吸水体的表面对所述工件持续进行冷却。此外，还提供一种激光加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 激光加工 吸水体 激光加工装置 液体槽 存储 待加工工件 激光束聚焦 激光束扩束 光斑 启动指令 扫描振镜 吸收液体 液体附着 液体汽化 激光器 聚焦镜 扩束器 上表面 下表面 支撑件 整形 加工 冷却 发送 汇聚 输出 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置包括：支撑件、激光器、扩束器、扫描振镜、聚焦镜、液体槽及吸水体，所述支撑件，置于所述液体槽中，用于固定待加工工件；所述激光器，用于接收启动指令发送激光束；所述扩束器，用于接收所述激光器发送的激光束，并将所述激光束扩束整形后，输出具有均匀能量密度的激光束至所述扫描振镜；所述扫描振镜，用于接收所述有均匀能量密度的激光束，并调整所述有均匀能量密度的激光束的角度，将所述有均匀能量密度的激光束汇聚在所述聚焦镜上；所述聚焦镜，用于根据工件加工的位置，将所述有均匀能量密度的激光束聚焦在所述工件上形成光斑进行加工；所述液体槽，置于所述工件的下方，用于存储可降温的液体，当加工时升温导致存储的可降温的液体汽化时，带走所述工件的热量；所述吸水体，置于所述工件下方的所述液体槽中，所述吸水体的上表面与所述工件的下表面接触，用于吸收液体，将液体附着于所述吸水体的表面对所述工件持续进行冷却。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳中科光子科技有限公司，未经深圳中科光子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611075252.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：晶片的加工方法
- 下一篇：一种带有鼓风型风琴罩的激光加工设备
