[发明专利]一种面发射分布反馈激光器有效
| 申请号： | 201611043649.7 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN106329315B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 邹永刚;田锟;石琳琳;马晓辉;王海珠;范杰;徐莉;海一娜;白云峰 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/42 |
| 代理公司： | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人： | 郎坚 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种面发射分布反馈激光器，包括制作在同一外延芯片上的多个激光器单管，多个所述激光器单管呈阵列分布，每个所述激光器单管包括自上而下依次分布的上电极、衬底、中间层、光栅层和下电极；光栅弯波导，连接在两个所述激光器单管之间，且用于相邻的两个所述激光器单管之间的光子互注入和锁相；其中，所述光栅弯波导包括呈圆弧状分布的光栅脊，所述光栅弯波导的两端分别与相邻的两个所述激光器单管的中间层相连接。本发明不仅具有制备过程简易且成品率高等优点，而且还省去了微结构元件复杂的装调过程，提升了工作稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发射 分布 反馈 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种面发射分布反馈激光器，其特征在于，包括：制作在同一外延芯片上的多个激光器单管，多个所述激光器单管呈阵列分布，每个所述激光器单管包括自上而下依次分布的上电极、衬底、中间层、光栅层和下电极；光栅弯波导，连接在两个所述激光器单管之间，且用于相邻的两个所述激光器单管之间的光子互注入和锁相；其中，所述光栅弯波导包括呈圆弧状分布的光栅脊，所述光栅弯波导的两端分别与相邻的两个所述激光器单管的中间层相连接；所述中间层包括自上而下依次设置的缓冲层、过渡层、n盖层、n包层、有源层、p包层和p盖层；所述光栅弯波导的各个光栅脊的形状类似于锥形或梯形，且所述光栅脊之间槽的深度与n盖层至p盖层之间的厚度相同。
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