[发明专利]一种复合材料薄膜三维多相同步生长的模拟方法及系统有效
| 申请号： | 201611032297.5 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN106650008B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 卢箫;朱京希;李嘉;赖博雅 | 申请（专利权）人： | 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 528300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的方法基于蒙特卡洛方法模拟粒子形成薄膜的随机过程。根据所选多相材料的特点设定参与随机事件的粒子数量和相关的能量参数，并对薄膜基底的材料和形貌进行选择和定义，获得三维薄膜生长模拟的过程信息。通过改变沉积相的参数，沉积条件（如，温度，基底表面形貌）等模拟条件，可以帮助技术人员发掘复合多相薄膜结构形态形成的机理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合材料 薄膜 三维 多相 同步 生长 模拟 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种复合材料薄膜三维多相同步生长的模拟方法，其特征在于：包括以下步骤：S1.设定薄膜生长的基底的三维结构形态信息，包括基底形貌和基底材料；S2.设定模拟体系内各种材料的本征参数，包括基底和薄膜材料的；S3.定义模拟体系的模拟参数；S4.按S1所定义的基底材料和形貌，在系统内导入或生成所需基底；S5.定义薄膜生长前沿的扫描面；S6.按S5的设定激活欲扫描的薄膜中的体积元层，并随机赋予该层中每个体积元一种身份参数，启动蒙特卡洛步骤，执行设定数量的Monte Carlo steps，使该薄膜层结构从初始随机生成的无序态达到稳态；S7.重复步骤S5～S6直至扫描完所设定的薄膜厚度所包括的体积元。
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