[发明专利]用于垂直电极换能器的系统和方法有效
| 申请号： | 201611022323.6 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106946210B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | A.德赫;C.格拉策 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于垂直电极换能器的系统和方法。根据实施例，一种操作具有薄膜的微机电系统(MEMS)换能器的方法包括：使用第一对静电驱动电极在薄膜的平面外偏转和第一对静电驱动电极上的电压之间转化。第一对静电驱动电极被形成在薄膜上，沿平面外方向延伸并且在第一对静电驱动电极之间形成可变电容。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 垂直 电极 换能器 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种操作微机电系统(MEMS)换能器的方法，所述换能器包括：可偏转薄膜；以及第一电极对，所述第一电极对包括形成在所述可偏转薄膜上的多个电极对，所述多个电极对中的每个电极对具有相应可变电容并且包括第一相应可移动电极和第二相应可移动电极，所述第一相应可移动电极和所述第二相应可移动电极具有相应可变分离距离并且相对于彼此可移动，且所述相应可变电容取决于所述相应可变分离距离，所述方法包括：在薄膜的平面外偏转和所述第一电极对上的电压之间转化。
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