[发明专利]基板镀膜载具及基板镀膜方法在审
| 申请号： | 201611007879.8 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN106567051A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 董洪超;刘亮 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板镀膜载具，包括载具本体和正对所述载具本体承载面设置的基板检测单元，所述基板检测单元用于实时检测所述载具本体上有无基板。本发明还公开了一种基板镀膜方法，先通过基板检测单元的信号反馈确认载具上是否有基板，然后再决定当前载具是否需要开启镀膜工艺，控制可靠，可以有效避免基板漏镀膜或设备污染及靶材浪费等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
一种基板镀膜载具，其特征在于，包括载具本体(10)和正对所述载具本体(10)承载面设置的基板检测单元(20)，所述基板检测单元(20)用于实时检测所述载具本体(10)上有无基板(S)。
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