[发明专利]一种高集成度朗缪尔探针诊断系统及方法有效
| 申请号： | 201610980115.0 | 申请日： | 2016-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN106568805B | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 赵鹏;李冬;秦斌;陈德智;李小飞 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙)42224 | 代理人： | 宋业斌 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高集成度朗缪尔探针诊断系统及方法；包括朗缪尔探针、触发器、扫描电源、数据采集单元和数据处理单元；触发器通过光纤传输脉冲触发信号给扫描电源，触发其产生指定幅值，周期和重复次数的锯齿波电压，加载至朗缪尔探针；同时数据采集单元对朗缪尔探针的电压、电流数据进行快速多次同步采集和存储；数据采集结束后将结果一次性发送至数据处理单元，通过计算机上的数据处理程序进行自动处理和分析，显示采集的伏安特性曲线和等离子体参数。本发明的自动化程度和集成度高，能够实现高速同步的数据采集和大容量数据存储和通信，并利用数据处理对采集数据自动处理和分析，提供良好的人机交互界面对处理结果进行显示和记录。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成度 朗缪尔 探针 诊断 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种高集成度朗缪尔探针诊断系统，其特征在于，包括朗缪尔探针(1)、触发器(2)、扫描电源(3)、数据采集单元(4)和数据处理单元(5)；所述朗缪尔探针(1)的输入端连接离子体发生器，所述朗缪尔探针(1)的输出端连接至所述数据采集单元(4)的第一输入端，所述触发器(2)的输入端连接离子体发生器，所述扫描电源(3)的输入端连接至所述触发器(2)的输出端，所述扫描电源(3)的第一输出端与所述数据采集单元(4)的第二输入端连接，所述扫描电源(3)的第二输出端与所述数据采集单元(4)的第三输入端连接，所述数据采集单元(4)的输出端连接所述数据处理单元(5)；所述扫描电源(3)包括：依次连接的单片机控制器，D/A转换器，前置放大器和功率放大器；所述单片机控制器的输入端作为所述扫描电源(3)的输入端，所述单片机控制器的第二输出端作为所述扫描电源(3)的第二输出端，所述单片机控制器的第一输出端连接所述D/A转换器，所述功率放大器的输出端作为所述扫描电源(3)的第一输出端。
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