[发明专利]一种SEM环境下建立全景立体微区图的方法

摘要

本发明公开了一种SEM环境下建立全景立体微区图的方法。该方法首先将SEM作大视场快速扫描获取的各部位形貌图进行拼接融合，生成研究对象的二维全景形貌图；然后自动识别研究对象中的不同的被操作与表征目标区域，按照顺序对其依次进行编号；利用微纳操作机器人对目标区域进行操纵与表征，再利用AFM模块对其进行准确操作与表征，生成局部三维形貌图和力测试数据；最后利用大数据技术和人机交互技术建立研究对象的全景立体微区图和表征数据库。该方法能根据研究对象的二维全景形貌图、局部三维形貌图与立体化操控技术，建立全景立体微区图和表征数据库。

主权项

1.一种SEM环境下建立全景立体微区图的方法，其特征在于，操作步骤如下：1)将研究对象固定在扫描电镜真空腔室内的基础平台上，利用SEM的大视场成像能力对研究对象按照X轴或Y轴逐块进行快速扫描；2)将获取的研究对象的各个部位形貌图按照序列A11、A12，…，A1n；...；An1、An2，…，Ann进行自动拼接融合处理，从而生成二维的全景形貌图；3)对被研究对象的二维全景形貌图中的不同外形特征进行提取，从而实现自动识别并归类研究对象中的不同被操作与表征目标区域；4)对研究对象的二维全景形貌图中的被操纵目标区域依次编号为B11、B12，…，Bnn，同时对研究对象的二维全景形貌图中的被表征目标区域依次编号为C11、C12，…，Cnn；5)利用微纳操作机器人对被操作目标区域进行操纵，以此达到对被操作目标区域的立体化操控；6)利用AFM模块对被表征目标区域进行精准操作和表征，从而获取局部的三维形貌图和力测试数据；7)重复步骤5)和步骤6)，直至被操作目标区域全部进行立体化操控，同时，被表征目标区域全部获取局部的三维形貌图和力测试数据；8)将获取到的各目标区域的数据进行融合处理，利用大数据技术和人机交互技术建立研究对象的全景立体微区图和表征数据库。