[发明专利]一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统

摘要

本发明提供了一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统，其包括：入射光纤；切尼‑特纳光路结构，其设置在所述入射光纤的下游；面阵光纤，所述面阵光纤包括入射端和出射端，所述入射端连接所述切尼‑特纳光路结构的输出端；光电倍增管阵列，所述光电倍增管阵列由多个光电倍增管单元组成，其中每个所述光电倍增管单元用于接收所述面阵光纤的出射端的一束光纤束的输出；放大器，所述放大器用于放大所述光电倍增管阵列输出的电信号；计数器，所述计数器电连接到所述放大器，用于将所述放大器传输进来的电信号转换成光子个数进行计数。本发明的光谱检测系统具有空间分辨率高、光电倍增管的使用效率高、成本低等优点。

主权项

1.一种用于等离子体检测的二维光纤阵列光谱检测系统，其特征在于，包括：入射光纤，所述入射光纤用于采集待检测的光谱信号；切尼‑特纳光路结构，所述切尼‑特纳光路结构设置在所述入射光纤的下游，用于将入射光纤采集到的光谱信号分光为不同波长的单色光后向外输出；面阵光纤，所述面阵光纤包括入射端和出射端，所述入射端连接所述切尼‑特纳光路结构的输出端；光电倍增管阵列，所述光电倍增管阵列由多个光电倍增管单元组成，其中每个所述光电倍增管单元用于接收所述面阵光纤的出射端的一束光纤束的输出；放大器，所述放大器用于放大所述光电倍增管阵列输出的电信号；计数器，所述计数器电连接到所述放大器，用于将所述放大器传输进来的电信号转换成光子个数进行计数；所述面阵光纤的入射端为由M行N列光纤组成的二维平面面阵，所述面阵光纤的出射端将M行N列光纤划分为多个光纤单元，其中每个光纤单元由X行Y列光纤组成，每个光纤单元构成一束光纤束；每个所述光电倍增管单元包括：光电倍增管安装座；光电倍增管，其设置在所述光电倍增管安装座的内孔中，所述光电倍增管的感光面与所述光纤束的出射端平面平行；管座，所述管座电连接到所述光电倍增管以向所述光电倍增管提供工作电压；其中，所述光电倍增管安装座上设置有多个通光孔，每个通光孔对应于所述光纤束中的一根光纤，使得在所述通光孔未被遮挡的情况下，所述光纤输出的光信号能够到达所述感光面。