[发明专利]一种用于反射镜光学加工原位检测的装置及使用方法有效
| 申请号： | 201610945836.8 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106568393B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 胡海飞;罗霄;薛栋林;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 李微微;仇蕾安 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于反射镜光学加工原位检测的装置以及使用方法，属于精密支撑技术领域；该装置的密封膜片和基板所包围的密封腔体可以充气，气压可调；密封腔体外部有膜片压模和反射镜工件共同控制膜片的包裹形状，可保证膜片对反射镜边缘的作用力沿着接触面法向；加工支撑系统由多个支撑单元构成。光学加工时，升起加工支撑系统抵消加工载荷，从而抑制加工载荷导致的镜面变形；每一轮修形完成后，降下加工支撑，调节密封腔体内的压强使得各力传感器的示数小于镜体总重力的某一较小的比例(如1％)，此时支撑垫和预埋磁铁相互吸引，约束镜体的刚体位移；打开检测光路后，可获得反射镜无重力或微重力状态下的面形精度。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 反射镜光学 密封腔体 原位检测 支撑系统 反射镜 膜片 压强 反射镜边缘 微重力状态 镜面 包裹形状 刚体位移 光学加工 控制膜片 力传感器 密封膜片 气压可调 支撑单元 检测光 密封腔 支撑垫 磁铁 支撑 充气 法向 基板 镜体 面形 示数 修形 压模 预埋 抵消 精密 变形 体内 包围 外部 吸引 保证 | ||
【主权项】：
1.一种用于反射镜光学加工原位检测的装置，其特征在于，包括基板(1)、密封膜片(2)、加工支撑单元(10)以及检测支撑单元(11)；所述加工支撑单元(10)的数量为至少3个，安装在基板(1)上；所述检测支撑单元(11)的数量为至少3个，安装在基板(1)上；所述密封膜片(2)的边缘固定在所述基板(1)上，密封膜片(2)和基板(1)所包围的腔体形成密封腔体；待加工和检测的反射镜(4)置于密封膜片(2)上；当只有一个密封膜片(2)时，加工支撑单元(10)以及检测支撑单元(11)均隐藏在密封腔体内部，加工支撑单元(10)可以上下调整。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610945836.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于扭矩的变直径皮带轮
- 下一篇：一种柔性轴承扭刚度测量装置
