[发明专利]一种周边曝光传送机构下垂监控装置及其监控方法有效
| 申请号： | 201610925239.9 | 申请日： | 2016-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN106406035B | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 王祝青;赵辉;沙双庆;王雷 | 申请（专利权）人： | 南京华东电子信息科技股份有限公司;南京中电熊猫平板显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 徐莹 |
| 地址： | 210033 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种周边曝光传送机构下垂监控装置及其监控方法，在传送机构的两侧安装光纤传感器，所述光纤传感器设置在低于传送机构底面7~12mm且在传送机构完全伸出后距离其最前端2~4.5cm的位置，所述光纤传感器将检测到的光感信号发送给PLC处理单元，PLC处理单元判断传送机构发生下垂并控制触摸屏进行报警。本发明通过在曝光机的传送机构两侧设置光纤传感器，当发生下垂情况时光纤传感器可将光线被遮挡的光感信号传递给PLC处理单元，PLC控制触摸屏发出报警，故可精确了解传送机构的运行状态，及时发现发生下垂现象，防止了基板破片，避免了传送机构下垂与基板搬入机构相撞的可能性，无需人力观察，节省人力物力的消耗，节约经济成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周边 曝光 传送 机构 下垂 监控 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种周边曝光传送机构下垂监控装置，其特征在于：在传送机构的两侧安装光纤传感器，所述光纤传感器设置在低于传送机构底面7～12mm且在传送机构完全伸出后距离其最前端2～4.5cm的位置，所述光纤传感器将检测到的光感信号发送给PLC处理单元，PLC处理单元判断传送机构发生下垂并控制触摸屏进行报警,所述PLC处理单元和触摸屏之间还设有时间延时继电器。
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