[发明专利]电热微推力器有效
申请号: | 201610920405.6 | 申请日: | 2016-10-21 |
公开(公告)号: | CN107975462B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 朱朋;王峰;陈楷;侯刚;穆云飞;王悦听;汪柯;沈瑞琪;叶迎华 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | F03H1/00 | 分类号: | F03H1/00 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 邹伟红 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于镍薄膜电阻的电热微推力器。所述的电热微推力器包括:Pyrex玻璃基底,镍薄膜电阻,焊盘以及硅片四部分组成。本发明的以镍电阻产生的焦耳热来加热硅片,进而加热流道中推进剂流体,然后高温流体经由喷口产生推力。对气体推进剂而言,该项发明可以有效地对流道中的气体进行加热以提高其比冲,从而提高推进系统的总冲;对于以液体如水,丁烷等推进剂而言,该发明可以使液体汽化,蒸汽通过拉瓦尔喷口产生推力。该发明的电热微推力器应用于微纳卫星的微推进器系统,既可以完成对微纳卫星的单自由度调整,又可以实现对微纳卫星的姿态控制和轨道提升。 | ||
搜索关键词: | 电热 推力 | ||
【主权项】:
一种电热微推力器,其特征在于,包括:一Pyrex玻璃基底(2);及阳极键合在Pyrex玻璃基底(2)上的硅片(4);在该硅片的对称轴上设有流道槽(3),流道槽(3)设有拉瓦尔喷口(5)及流体入口(8);该装置还包括:在硅片(4)上,围绕流道槽(3)和流体入口(8)对称设有电阻埋槽(6);电阻埋槽(6)内由内向外依次设有绝缘层、镍电阻(7);所述的Pyrex玻璃基底上设有连接镍电阻(7)的焊盘(1),与镍电阻(7)有交叉部分以形成有效接触;所述的Pyrex玻璃基底(2)与硅片(4)的键合面为:该硅片(4)上电阻埋槽(6)的开槽面。
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