[发明专利]一种高精度矩形光楔的加工方法

摘要

本发明公开了一种高精度矩形光楔的加工方法，通过对待加工楔板进行透射面形以及楔角的干涉测量分析，计算出等效面形误差；采用数控加工工艺流程完成楔板的透射面形精度以及楔角的精度满足指标要求。本发明解决了矩形光楔加工过程中，由于其长宽比较大导致透过面形与楔角难以控制的问题；且与传统单块加工方法相比，无需专用工装，从而提高了加工效率和降低了加工成本，有效的提高了光楔加工效率，并实现了对光楔透射面形精度以及楔角精度的高精度加工。

主权项

1.一种高精度矩形光楔的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)采用激光平面干涉仪对待加工楔板进行透射面形以及楔角的测量，得到待加工楔板的透射面形以及楔角，分析后得到矩形楔板的长边方向楔角和短边方向楔角；步骤2)判断面形误差是否达到加工要求，若达到要求则结束加工，否则根据测量所得的透射面形与楔角，计算楔板的等效面形误差W，公式如下：W＝W_T+W_X+W_Y，式中，W_T为干涉仪测得的楔板实际的透射面形，W_X＝LL×tan(Wedge X‑Wedge X0)，W_Y＝WW×tan(Wedge Y‑Wedge Y0)；其中，LL为楔板的长度，WW为楔板的宽度，单位为μm，Wedge X为楔板在长度方向的实测倾斜量，Wedge Y为楔板在宽度方向的实测倾斜量；Wedge X0为楔板在长度方向的理论倾斜量，Wedge Y0为楔板在宽度方向的理论倾斜量，单位为度；步骤3)将楔板固定在数控加工机床中心上，根据楔板的等效面形误差对楔板进行抛光；步骤4)一个抛光周期结束后，返回步骤1)。