[发明专利]一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法在审
| 申请号： | 201610911295.7 | 申请日： | 2016-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN106290117A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 吴晓斌;罗艳;王魁波;陈进新;谢婉露;张罗莎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01N15/08 | 分类号： | G01N15/08;G01N7/10 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司11619 | 代理人： | 郎志涛 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置以及气体渗透率的测试方法，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统，所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2)，所述辐射系统包括光源(5)及照明系统，所述抽气系统包括三个抽气通道，所述供气系统包括顺次连接的气瓶(16)、减压阀(17)、截止阀(18)和流量控制器(19)，所述检测系统包括第一真空计(20)、第二真空计(21)和质谱计(22)，其中第一真空计(20)、第二真空计(21)分别用于测试左腔室和右腔室的压力，质谱计(22)用于测量右腔室的气体组分和分压。该装置结构简单，能够准确真实地和在线实时地测量辐射下材料的气体渗透率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测试 材料 辐射 气体 渗透 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统。
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