[发明专利]激光器的制造方法有效
| 申请号： | 201610908774.3 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN107959225B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 方瑞禹 | 申请（专利权）人： | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/32 | 分类号： | H01S5/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 张洋;黄健 |
| 地址： | 266555 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光器的制造方法，包括：在衬底上生长有源层；对有源层和衬底进行刻蚀，以形成凸出的且具有设定间隔距离的两个台面；在两个台面的两侧生长反向PN结，并使反向PN结覆盖两个台面的有源层的两侧；在反向PN结和两个台面的有源层上生长用于光限制的包层；在包层上生长用于电接触的接触层；对接触层、包层、反向PN结和衬底进行刻蚀，以在两个台面的两侧形成隔离槽；制作电极以形成两个激光器单元。本发明可提高激光器的良率，降低高激光器的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种激光器的制造方法，其特征在于，包括：在衬底上生长有源层；对所述有源层和衬底进行刻蚀，以形成凸出的且具有设定间隔距离的两个台面；在两个所述台面的两侧生长反向PN结，并使所述反向PN结覆盖两个所述台面的有源层的两侧；在所述反向PN结和两个所述台面的所述有源层上生长用于光限制的包层；在所述包层上生长用于电接触的接触层；对所述接触层、包层、反向PN结和衬底进行刻蚀，以在两个所述台面的两侧形成隔离槽；制作电极以形成两个激光器单元。
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