[发明专利]一种离子源束流诊断用张角测量仪在审
申请号: | 201610906241.1 | 申请日: | 2016-10-18 |
公开(公告)号: | CN106547013A | 公开(公告)日: | 2017-03-29 |
发明(设计)人: | 任秀艳;曹进文;李公亮;吴灵美 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | G01T1/29 | 分类号: | G01T1/29 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102413 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明属于同位素电磁分离器技术领域,具体涉及一种离子源束流诊断用张角测量仪,设置在同位素电磁分离器上,同位素电磁分离器包括设置在真空室内、设有引出电极的离子源,离子源从引出电极的引出缝中射出离子束,离子束在Y轴方向上收拢,在X轴方向上发散。该张角测量仪包括设置在真空室内的第一探头、第二探头,通过第一探头测量得到的电流信号能够获得离子束的束流流强,通过第二探头测量得到的电流信号能够获得离子束的束流的空间密度分布,通过空间密度分布能够得到离子束的束流张角;还包括能够采集、记录探头的空间位置信号和离子束的电流信号的PLC模块。该测量仪能够在线测量束流密度分布。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子源 诊断 张角 测量仪 | ||
【主权项】:
一种离子源束流诊断用张角测量仪,设置在同位素电磁分离器上,所述同位素电磁分离器包括设置在真空室(11)内、设有引出电极的离子源,所述离子源从所述引出电极的引出缝(10)中射出离子束(9),所述离子束(9)在Y轴方向上收拢,在X轴方向上发散,所述Y轴方向为所述离子束(9)的发射方向,其特征是:所述离子源束流诊断用张角测量仪包括设置在所述真空室(11)内的第一探头(6)、第二探头(5),通过所述第一探头(6)测量得到的电流信号能够获得所述离子束(9)的束流流强,通过所述第二探头(5)测量得到的电流信号能够获得所述离子束(9)的束流的空间密度分布,通过所述空间密度分布能够得到所述离子束(9)的束流张角;还包括能够采集、记录所述探头的空间位置信号和所述离子束(9)的电流信号的PLC模块。
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