[发明专利]一种白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置及其调焦方法在审
| 申请号： | 201610903674.1 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106500587A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 杨志军;尹欧阳;陈新;吴柏生;王晗 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置，包括直线导轨、刚性框架、核心运动工作平台、柔性铰链、传感器、直线驱动器和光栅尺；如此设置，本发明公开的白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置，其能够有效实现大范围运动同时保证精密进给，并通过宏微复合测量获得精密运动平台在经过调焦后的精确位移读数；本发明还公开了一种用于上述白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置的调焦方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 白光 干涉仪 轴宏微 精密 调焦 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种白光干涉仪Z轴宏微精密调焦装置，其特征在于，包括直线导轨、刚性框架、核心运动工作平台、柔性铰链、传感器、直线驱动器和光栅尺；四条导轨对称布置，刚性框架安装在导轨上，绝对光栅尺安装在刚性框架上，核心运动工作平台通过柔性铰链安装在刚性框架内部，传感器安装在柔性铰链上，直线驱动器安装在核心运动工作平台中部。
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