[发明专利]一种提高多孔径微孔激光加工质量的装置及方法

摘要

本发明公开了提高多孔径微孔激光加工质量的装置及方法，装置包括：激光器；扩束镜，设于激光器之后；旋转双棱镜组件，设于扩束镜之后，用调节激光光束中心的偏移距离；聚焦镜，设于旋转双棱镜组件之后；平台，朝向聚焦镜的出光侧，用于放置工件或带动工件移动；以及计算机，在计算机的控制下，旋转双棱镜组件旋转调节激光光束中心作用位于平台上工件的半径，完成快速孔型加工。该提高多孔径微孔激光加工质量的装置及方法，采用固体激光器，保证加工质量和精度，同时采用双棱镜调节装置，降低了加工设备的成本，并可实现不同孔径微孔加工的快速调节，进一步提高了加工品质和效率，搭配X‑Y移动平台可设置加工路径，满足多样化图形加工需求。

主权项

1.一种提高多孔径微孔激光加工质量的装置，其特征在于，包括：一激光器，用于发射激光；一扩束镜，设于激光器之后，用于对激光进行扩束；一旋转双棱镜组件，设于扩束镜之后，用于调节激光光束中心的偏移距离；一聚焦镜，设于旋转双棱镜组件之后，用于对光束进行聚焦；一平台，朝向聚焦镜的出光侧，用于放置工件或带动工件移动；以及一计算机，控制激光器、平台，以设置激光参数和加工参数；其中，在所述计算机的控制下，由所述旋转双棱镜组件旋转调节激光光束中心作用位于平台上工件的半径，激光扫描完成快速孔型加工；其中，所述的激光器为固体激光器，所述旋转双棱镜组件与聚焦镜之间还设有一改变激光光束方向的反射镜，所述的平台为X‑Y轴移动平台，在同一工件上连续加工微孔时，所述X‑Y轴移动平台带动工件移动；在加工单孔时，所述X‑Y轴移动平台可以设置微动路径，所述的旋转双棱镜组件包括：双棱镜调节装置，设于所述双棱镜调节装置上的二棱镜，以及驱动所述双棱镜调节装置旋转的驱动电机，所述的二棱镜为两个楔形棱镜，所述的双棱镜调节装置包括：用于固定棱镜的棱镜镜筒，用于固定另一棱镜的棱镜调节镜筒，所述棱镜镜筒与棱镜调节镜筒之间通过一连接件连接；其中，所述棱镜调节镜筒的外壁套装有至少一轴承，所述轴承的外壁抵顶所述连接件，所述棱镜调节镜筒与连接件之间还设有一止动螺钉，当旋转棱镜调节镜筒至适当位置时，旋紧所述止动螺钉，固定棱镜调节镜筒与连接件，所述的轴承为滚针轴承，所述滚针轴承的数目为二，二滚针轴承平行套装于棱镜调节镜筒上。