[发明专利]集成电路生产车间除尘系统在审
| 申请号： | 201610867153.5 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN106424060A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B15/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人： | 孙力坚;聂启新 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集成电路生产车间除尘系统，该系统包括装置于车间中的除尘器、灰尘传感器及控制所述除尘器的控制器，所述控制器的输入端与灰尘传感器的输出端连接；所述灰尘传感器包括多个，分别安装于每个操作台的上方的导轨上。本发明中，于操作台上方设置多个灰尘传感器，全面检测集成电路生产车间中的灰尘量，实现自动除尘，节省能耗的同时又能保证车间的无尘，其除尘效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 生产 车间 除尘 系统 | ||
【主权项】：
一种集成电路生产车间除尘系统，其特征在于：该系统包括装置于车间(1)中的除尘器(2)、灰尘传感器(3)及控制所述除尘器(2)的控制器(4)，所述控制器(4)的输入端与灰尘传感器(3)的输出端连接；所述灰尘传感器(3)包括多个，分别安装于每个操作台(5)的上方的导轨(6)上。
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